Phường được thành lập vào ngày 5 tháng 11 năm 2003 trên cơ sở 4,33 ha diện tích tự nhiên và 679 người của Phường 14; 174,16 ha diện tích tự nhiên và 41.764 người của Phường 16 thuộc quận Tân Bình, đồng thời với việc thành lập quận Tân Phú.[1]

Sau khi thành lập, phường Tân Quý có 178,49 ha diện tích tự nhiên, dân số là 42.443 người.